當泵的進口壓力小于環境溫度下的液體的飽和蒸氣壓時，液體中有大量蒸汽逸出，并與氣體混合形成許多小氣泡。當氣體到達高壓區時，蒸汽凝結，氣泡破裂，氣泡的消失導致產生局部真空，液體質點快速沖向氣泡中心，質點相互碰撞，產生很高的局部壓力。如果氣泡在金屬表面如葉片上破裂凝結，則會以較大的力打擊葉片金屬表面，使其遭到破壞，并產生震動，這種現象稱為“汽蝕現象”。所以一般需要給泵做好防氣蝕保護看，對于羅茨真空機組來說亦是如此。
汽蝕是一種客觀存在的現像，在羅茨真空機組工作時，真空度達到-0.093MPa及以上時，真空機組泵腔內的水很容易達到飽合蒸汽壓，此時會產生很多氣泡。這些氣泡在排氣端因壓力增加會快速破裂，此時原氣泡周圍的水會迅速的填充原氣泡的空間，從而對真空機組的葉輪及圓盤造成很大的沖擊，并同時伴隨著啪啪的刺耳聲。汽蝕剛才始對真空機組葉輪及圓盤，主要是葉輪造成點狀的損壞，破壞金屬表面的保護層，隨著氣蝕時間的增加會在葉輪表面形成蜂窩狀的小坑，并且小坑的深度會慢慢增加，直到葉輪葉片因氣蝕及液體阻力被折斷。汽蝕對機組來說有很大的威脅，在實際應用中，很多真空機組性能降低甚至損壞都是因為氣蝕的原因造成的。
所以如果羅茨真空機組沒有防汽蝕保護措施，那么就會很容易出現被腐蝕現象，從而嚴重影響機組的正常使用效果和使用壽命，也會增加機組的維修成本。
